自由曲面反射鏡

我們開發出一種結合慢(màn)刀(dāo)路徑的(de)光(guāng)學探針測試與補償加工方法，實現不依賴B軸、大(dà)動态範圍、亞微米精度的(de)在線測試與補償加工，極大(dà)的(de)提高(gāo)了(le)自由曲面加工和(hé)檢測精度，100mm口徑自由曲面的(de)面形精度優于PV 0.5μm。